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三菱マテリアル、スパッタリングターゲットの「量産技術センター」新設

鉄鋼新聞 7月29日(金)6時0分配信

 三菱マテリアルは28日、スパッタリングターゲットの量産技術開発および製造を行う「量産技術センター」を基幹工場である三田工場(兵庫県)に新設したと発表した。フラットパネルディスプレイ(FPD)や太陽電池などの基板の大型化に対応する円筒型・大型平板のスパッタリングターゲットの量産技術開発・製造を加速するのが狙い。同センター新設に伴い、「第10世代」と呼ばれる大型のFPD(1辺3メートル超)に対応するターゲット材の量産設備も導入した。

 同センターは、新設した建屋(延べ床面積1779平方メートル)に開発設備、生産設備、品質検査設備、倉庫などを導入し、顧客ニーズに迅速に対応する製品の開発・製造体制とした。これまで三田工場で行っていたターゲット材の生産は一部工程を除き、同センターに集約する。
 スパッタリングターゲットは、対象とする基板に原子レベルで合金や金属酸化物などの物質を付着させ、薄膜を形成するための電子材料。近年では60インチ(約1・5メートル)を超える大型テレビの普及が進み、大きな面積の対象基板に均質な膜を形成できるスパッタリングターゲットの需要が高まっている。これに対応するスパッタリングターゲットとして円筒型や大型平板があるが、特に円筒型は大面積基板に対応できることに加え、利用効率が高いという特徴がある。

最終更新:7月29日(金)6時0分

鉄鋼新聞