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東芝、超音波を検出するスピン型MEMSマイク開発

EE Times Japan 6/20(火) 18:23配信

今回開発したスピン型ひずみ検知素子の性能と従来ひずみゲージとの比較 出典:東芝

(写真:ITmedia)

最終更新:6/20(火) 18:23

EE Times Japan