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真空状態つくるポンプを小型化 島津製作所

12/8(金) 8:50配信

京都新聞

 島津製作所は、真空状態をつくり出すターボ分子ポンプを小型化した新製品を8日に発売する。低消費電力で排気性能を高めた。質量分析計や電子顕微鏡などの精密機器メーカー向けに売り込む。
 島津製は、主に半導体製造装置向けに供給するターボ分子ポンプを手掛ける。小型機種の市場には2014年に本格参入。分析機器の小型化や多様な分析ニーズに対応し、新製品を投入することにした。
 サイズは直径9・5センチ、高さ14・9センチと従来機より一回り小さく、重さは3分の1以下の3・2キロに軽量化した。消費電力は従来比で60%減るという。
 内部のタービンが1分間に約8万7千回転し、気体を分子レベルで排出することで真空状態をつくる。価格は税別で1台70万円から。1年間に650台の販売を目指す。

最終更新:12/8(金) 8:55
京都新聞